真空泵是一種普遍采用的造成真空的設備，可分為往復式、回轉式等。 本文著重講解一下往復式真空泵的原理。

往復式真空泵

圖1是單動往復式真空泵的工作原理示意圖:它的工作過程是:當活塞向右移動時，氣缸內活塞左邊的空間體積增大，氣體壓力下降。當壓力下降到稍小于吸入口管內壓力時，吸入口的氣體頂開進氣閥而進入氣缸內。氣體隨著活塞右移而繼續進入氣缸，直至活塞移動到右邊末端才停止進氣，此為吸氣過程。在吸氣過程中，由于排氣閥外的氣體壓力大于氣缸內的壓力，因此排氣閥不能打開。當活塞開始向左移動時，進氣閥便被氣缸內的了毛體所壓閉，這樣氣體不能流回吸入管線。當活塞移動到一定位置時，氣缸內的氣體被壓縮到壓力稍大于出口的壓力時，排氣閥便被頂開，氣缸內的氣體被排出，直至活塞移動到左邊末端為止，此為排氣過程。這樣活塞來回作往復的運動，便可在吸入管處形成真空。

往復式真空泵也有單級和多級的區別。單級雙動高速真空泵真空度可達10-20毫米汞柱(絕對壓力).多級真空泵可以達到更高的真空度。